Realstrukturaufklärung polykristalliner dünner Schichten mittels Röntgenbeugung

Wieder, Thomas

kassel university press, ISBN: 978-3-933146-01-4, 1998, 392 Seiten

Zugl.: Darmstadt, Univ., Habil., 1996

Inhalt: Die röntgenographische Realstrukturcharakterisierung dünner Schichten, insbesondere die Eigenspannungsermittlung, wird in dem vorliegenden Buch dargelegt. Den Schwerpunkt bildet dabei die Darstellung der Methodik. Zur Sprache kommen Eigenspannungsermittlung mit und ohne Texturberücksichtigung, Bestimmung von strukturellen Tiefenabhängigkeiten, Profilanalysen und Kristallbaufehler. Das Buch wendet sich an Fachleute aus Chemie, Materialwissenschaft, Mineralogie und Physik, die Röntgenbeugung zur Schichtcharakterisierung verwenden.

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